分光式膜厚計測 TFW-100(1)/(2)/(3)

産業分野における低価格な分光式の膜厚測定装置です。
非接触・非破壊なため、サンプルを傷つけることなく、短時間で簡便に測定が可能です。
研究開発での膜厚測定や、インラインでの品質管理などで、幅広く使用されています。
高精度、高安定性を低価格にて実現致しました。
分光式膜厚計をご検討の方は、是非、一度お問い合わせくださいませ。

<特徴>
 ・非接触、非破壊にて膜厚測定が可能。
 ・10nm〜1000μmまでの厚みで、3層までの膜厚計測に対応。
 ・膜厚だけではなく光学乗数(n、k)も計測可能。
  (トータルパラメータ数3個まで)
 ・微小スポットにも対応。
 ・カラーフィルター顔料膜厚も計測可能。

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■仕様 
TYPE TFW-100(1) TFW-100(2) TFW-100(3)
用途 ITO等の薄膜用 一般膜厚用 カラーフィルター
顔料膜厚用
計測膜厚 数10nm〜500nm(C/F)
500nm〜15μm(FFT)
150nm〜1.5μm(C/F)
1.5μm〜60μm(FFT)
500nm〜10μm(C/F)
計測再現性 0.2%〜1%(膜質依存による)
計測波長 300nm〜1000nm 400nm〜700nm 900nm〜1600nm
光源 12V-100W ハロゲン
計測ソフト TF-Lab (カーブフィッティング法 / FFT法)

■膜厚計測の応用例 
@ウエハ搬送機との組み合わせにて自動計測
AXYZステージ付サンプル測定台を使用して計測





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