非接触で実現する高精度薄膜厚さ測定で研究開発を加速

インライン計測

工場内の製造装置との組み合わせにて製造工程をモニタリングします

高速透過率反射率モニタリングユニット
☆ 0.1秒間隔でデータを上位PCへ転送いたします。
☆ 膜厚値／色度値　ですべてかんりできます
☆ 複数点計測も可能です。

---