分光式膜厚計測 TFW-100(1)/(2)/(3)
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産業分野における低価格な分光式の膜厚測定装置です。
非接触・非破壊なため、サンプルを傷つけることなく、短時間で簡便に測定が可能です。
研究開発での膜厚測定や、インラインでの品質管理などで、幅広く使用されています。 高精度、高安定性を低価格にて実現致しました。 分光式膜厚計をご検討の方は、是非、一度お問い合わせくださいませ。 ＜特徴＞ ・非接触、非破壊にて膜厚測定が可能。 ・10nm～1000μmまでの厚みで、3層までの膜厚計測に対応。 ・膜厚だけではなく光学乗数（ｎ、ｋ）も計測可能。 （トータルパラメータ数３個まで） ・微小スポットにも対応。 ・カラーフィルター顔料膜厚も計測可能。 
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| TYPE | TFW-100(1) | TFW-100(2) | TFW-100(3) | |||||||||||||||||||||||||||||||
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| 用途 | ITO等の薄膜用 | 一般膜厚用 | カラーフィルター 顔料膜厚用 |
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| 計測膜厚 | 数10nm～500nm(C/F) 500nm～15μm(FFT) |
150nm～1.5μm(C/F) 1.5μm～60μm(FFT) |
500nm～10μm(C/F) | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 計測再現性 | 0.2%～1%(膜質依存による) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 計測波長 | 300nm～1000nm | 400nm～700nm | 900nm～1600nm | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 光源 | 12V-100W ハロゲン | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 計測ソフト | TF-Lab (カーブフィッティング法 / FFT法) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
■膜厚計測の応用例
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①ウエハ搬送機との組み合わせにて自動計測 |
②XYZステージ付サンプル測定台を使用して計測 | |
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